CINDBEST CT-6|6~12 非真空高低溫探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)
特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ *大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜
◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升級(jí)
◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。 
規(guī)格
臺(tái)體：
型號(hào):CT-6/CT-8/CT-12
樣品臺(tái)尺寸:6英寸/8英寸/12英寸
水平旋轉(zhuǎn) :可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程:6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸
X-Y移動(dòng)精度:10微米/1微米
樣品固定: 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái): U型針座平臺(tái)，*多可放置6~12個(gè)探針座
平臺(tái)升降: 可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm
背電極測(cè)試:樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
溫度范圍 :負(fù)80°到正400°
溫控精度 :0.01°/0.1°/1°
重量:約120千克/150千克
光學(xué)系統(tǒng)：
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程:水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動(dòng)4英寸，Z軸行程50.8mm
光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
定位器：
X-Y-Z移動(dòng)行程:12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度: 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 :磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度: 10pA/100fA/10fA
固定探針: 彈簧固定/管狀固定
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑: 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì): 鎢鋼/鈹銅
可選附件
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具
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