特征
1) 工作腔內(nèi)無水無油，通過轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動產(chǎn)生清潔真空。
2) 單級設(shè)計可使固體廢棄物更容易排出并大幅減少留在泵內(nèi)的殘余物。
3) 通過特殊涂層處理，可用于抽取有毒、有腐蝕性及可凝性氣體。
4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。
5) 密封方式為機械或雙唇密封。
6) 簡便的設(shè)計易于設(shè)備維護。
7) 螺桿與螺桿之間及泵體與螺桿之間無接觸，使用壽命長。
8) 氣體通過泵體可迅速排出。
9) 螺桿轉(zhuǎn)子具有較高的容積效率。
10) 較低的轉(zhuǎn)速可降低振動及噪音。
應(yīng)用范圍：
在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強氣相沉淀（PECVD）和反映離子刻蝕（RIE）工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿（PLASMA）的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
工業(yè)排氣；集中式真空處理系統(tǒng)
擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。
涉及無憂污水真空處理的所有應(yīng)用
食品行業(yè)用于香料，香精濃度，食品包裝等。
VPS?大型干式螺桿真空泵?參數(shù)表
（變螺距干式螺桿真空泵）
型 號
 
VPS-P1500
 
VPS-P2700
抽速
(50/60Hz)
 
M3/h
 
1250/1500
 
2250/2700
CFM
 
735/882.8
 
1324/1589
極限壓力
 
(Torr)
 
0.1 / 0.05
 
0.1 / 0.05
(Pa)
 
13.3 / 6.7
 
13.3 / 6.7
電機功率Kw(50/60Hz)
 
37
 
55
泵轉(zhuǎn)速(RPM) 50/60Hz
 
1450/1750
 
1450/1750
口徑
 
入口(A)
 
125
 
150
出口(B)
 
80
 
100
齒輪油(L)
 
4
 
5
冷卻水(L/min)
 
20
 
28
重量(Kg,泵體)
 
1200
 
1500